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イオン注入装置

各種研究開発に使用できるイオン注入装置の製作を行います。
イオンソースは、ガス、個体ともイオン化が可能で、Beも対応します。
また、ワークはウェハーに限らず、各種形状やサイズに対応します。
既存の装置の改造/修理も承ります。
 
弊社製研究開発用イオン注入装置
Mシリーズ
Mシリーズ コンソールパネル部