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真空応用装置

イオン注入装置   真空蒸着装置   真空加熱装置
イオン注入装置 真空蒸着装置   真空加熱装置
 

真空機能部品

基板加熱機構   三源蒸発源(K-CELL)   6kW‐EBガン   EBガン電源
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ペンシル型SPM   シャッター機構   4ch自動リニアモーション機構   移動式・排気ユニット
ペンシル型SPM   シャッター機構   4ch自動
リニアモーション機構
  移動式・排気ユニット
 
真空チャンバー、その他真空加工品

真空チャンバー   サンプル移動用密封容器  
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