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VAT社製品
 
  VAT社製品
   
       
   
 
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  ミニUHVゲートバルブ  Series 01.0
 
  ミニゲートバルブ  Series 01.2
 
 
UHVから高度なアプリケーションまでの多用途バルブ 低真空アプリケーションの汎用/多目的/多用途バルブ

  角型ゲートバルブ/インサート MONOVAT
Series 02.2 / Series 03.2
 
  高真空ゲートバルブ  Series 09
 
 
200, 300, 450mmウェーハ用半導体製造装置のロードロックおよびプロセスチャンバーの真空封止用 真空封止アプリケーション用、特に堆積物の多いアプリケーションに最適


  UHVゲートバルブ  Series 10
 
  高真空ゲートバルブ  Series 11
 
 
研究開発および産業のUHVアプリケーションの標準バルブ 高真空のアプリケーションの多用途バルブ、特にポンプの真空封止に最適


  真空ゲートバルブ  Series 12
 
  高真空ゲートバルブ(O-リング回転軸シール)
Series 14.1

 
 
研究開発および産業の低真空アプリケーションの標準バルブ 低真空から高真空アプリケーションへの多用途バルブ、特に生産プロセスに最適


  振子式高真空バルブ  Series 16.2
 
  バタフライバルブ(ベローズ軸シール)
Series 20.0 / 20.2
 
 
コンパクトなデザイン、特に腐食性プロセスに最適 クリーンなプロセス用のコンパクトバルブ


  ダイアフラムバルブ  Series 22
 
  高真空アングルバルブ(ベローズ軸シール)
Series 26
 
 
粗引き / バックラインの真空封止用で、定量絞り、ガス導入および液体用バルブ 高真空アプリケーションの排気およびベント用
(大流量の場合は Series 24 を推奨)


  UHV アングルバルブ  Series 28
 
  オールメタルゲートバルブ  Series 48
 
 
極少アウトガス量が要求されるUHVアプリケーションの排気およびベント用で、腐食性ガスにも対応 (極) UHV仕様で高温または過酷な条件に対応


  低価格オールメタルアングルバルブ
Series 54
 
  オールメタルアングルバルブ  Series 57
 
 
(極) UHV アプリケーションの真空プロセス用 (極) UHV アプリケーション / 厳しい条件に対応


  オールメタルバリアブルリークバルブ
Series 59
 
  バタフライバルブ コントロールシステム
Series 61.2
 
 
プロセス圧力を微小流量で制御するガス導入バルブ SEMI、FPD、PV、SOLAR、産業分野の圧力制御用バルブで、特にCVDのような高速で高度なプロセスに最適

  振子式バルブ コントロールシステム
Series 65.0
 
  緊急遮断シャッターシステム  Series 77
 
 
SEMI、FPDプロセスの圧力制御および真空封止用バルブで、特に苛酷なエッチング、クリーニングプロセスに最適 加速器やストレージリングの真空系を突然の大気侵入から保護
 
   
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