各種研究開発に使用できるイオン注入装置の製作を行います。
イオンソースは、ガス、個体ともイオン化が可能で、Ｂｅも対応します。
また、ワークはウェハーに限らず、各種形状やサイズに対応します。
既存の装置の改造／修理も承ります。

弊社製研究開発用イオン注入装置
Ｍシリーズ

Ｍシリーズ　コンソールパネル部