「クリーンブラスター」は、サンドブラストの原理を応用し、半導体製造装置のクリーニング用装置として開発しました。
ブラストノズルの先端から高圧エアにて研磨材を噴射させて金属表面を磨くという特性を活かし、イオン入・CVD・スパッタ・蒸着装置等の部品を短時間で安全にクリーニング処理を実行できます。

クリーンブラスター全機種はクリーン環境と作業者に対し以下のような配慮を施し人と環境への安全を確保しています。

  1. 二重局所排気構造により外部発塵を極限まで減らしました。二重化された局所排気機構はブラスト室の発塵のみならず装置内のモーターや電装機器から発生する発塵発熱も外部に漏らしません。
  2. クリーンブラスターは予備室を備えたロードロック機構となっています。
    予備室は密閉型のドラフトチャンバーとなっておりブラスト作業後のワークの後処理などが行えます。
    また、ブラスト室と予備室はゲートバルブ構造のシャッターにて仕切られます。
  3. 密閉型フード構造によりAs、Pなどの毒物の付着したワークに直接手を触れずに作業を行う事が出来ます。
  4. 研磨材が循環式のため運転コストが抑えられています。
    また、切削ダストがタンクに回収されるので処理が簡単です。
  5. 完全ドライ方式なので、水・酸・薬液等の廃液処理は必要ありません。
  6. 装置の保守・維持管理が容易です。

ラインナップ

  • CS-750   小型基本モデル
  • CS-801   小型汎用モデル
  • CS-1000  大型高機能モデル
CS-750CS-801CS-1000

CS-750はCS-801の基本性能をそのままに、
よりシンプルかつコンパクトをコンセプトに開発されました。

シンプルな構造のCS-750は
拡張機能を省いて製品コストを抑えた、
クリーンブラスターのベーシックモデルです。

クリーンブラスターCS-801は
ご好評頂いたCS-800の後継モデルとして
1992年に発表しました。


CS-800の拡張性をそのままに、
より使いやすさと保守性を向上させております。

各室接続構造のため拡張性に優れており
拡張装置の増設各種オプションユニットの接続が可能です。

【オプション装備】
・ドラフトチャンバー、洗浄槽
・排気圧モニターインターロック
・ダスト回収タンク容量検知インターロック
・研磨材自動供給装置
・電圧変換トランス

CS-1000は大型化した半導体製造装置に
対応すべく開発された大型クリーンブラスターです。

大型化した装置をクリーン対応するため
CS-1000は自動ダンパーによる排気制御研磨剤の自動供給、
交換を標準装備としています。

また、重量のあるワークを安全に取り扱うため、手動送りのテーブル台車には自動固定および回転止め器具が装備されています。