自動圧力制御機器（APC）

排気速度制御による圧力制御について
プロセスチャンバーの圧力を自動制御するシステムです。徹底した品質管理とコスト管理から実現した汎用型ＡＰＣ。
ますます複雑化するプロセス向けの開発型ＡＰＣなど、お客様のニーズに合わせたＯＥＭ供給にも対応しています。