排気速度制御による圧力制御についてプロセスチャンバーの圧力を自動制御するシステムです。徹底した品質管理とコスト管理から実現した汎用型APC。ますます複雑化するプロセス向けの開発型APCなど、お客様のニーズに合わせたOEM供給にも対応しています。 製品選択マップ バルブサイズ : 1~4インチ コントローラ一体型 バルブ自己加熱型 バルブ非加熱型 コントローラ分離型 バルブ自己加熱型 バルブ非加熱型 バルブサイズ : 6~20インチ コントローラ一体型 バルブ非加熱型 コントローラ分離型 バルブ非加熱型 特殊バルブ コントローラ