排気速度制御による圧力制御について
プロセスチャンバーの圧力を自動制御するシステムです。徹底した品質管理とコスト管理から実現した汎用型APC。
ますます複雑化するプロセス向けの開発型APCなど、お客様のニーズに合わせたOEM供給にも対応しています。

製品選択マップ

バルブサイズ : 1~4インチ

コントローラ一体型

バルブ自己加熱型

バルブ非加熱型

コントローラ分離型

バルブ自己加熱型

バルブ非加熱型

バルブサイズ : 6~20インチ

コントローラ一体型

バルブ非加熱型

コントローラ分離型

バルブ非加熱型

特殊バルブ

コントローラ