材質、寸法形状、インターフェイスなどの様々な特殊仕様に対応いたします。
■ 全閉バルブ
全閉コンダクタンスがゼロ！
特長
- バルブ／コントローラ一体型ＡＰＣ
- 弁の周囲にＯ－リングを取り付けることで、最小コンダクタンスはゼロになる
- ガス量を増やすことなく、制御圧力の上限を引き上げる
- スロー排気が、簡単にできる
- ＡＰＮ３０コントローラで自動圧力制御または開度制御
- ＲＳ内蔵コントローラで自動圧力制御または開度制御
- メンテナンス性を重視した、シンプルなＤＤ駆動方式
■ 樹脂バルブ
耐食性が必要なライン向け
特長
- バルブ／コントローラ一体型ＡＰＣ
- バルブの接ガス部はすべて樹脂性
- 耐腐食性、耐熱性に優れている
- 圧力センサとの位置関係により、ノーマル／リバース動作切り変え可能
- ＡＰＮ３０コントローラで自動圧力制御または開度制御
- ＲＳ内蔵コントローラで自動圧力制御または開度制御
- メンテナンス性を重視した、シンプルなＤＤ駆動方式
仕様
- 電源入力 ： ±15VDC ＠500ｍA
- 圧力計電源出力 ： ±15VDC ＠250ｍA
- 圧力計信号入力 ： 0－10VDC FS
- RS232インターフェイス ：PIDパラメータ設定
圧力設定／開度設定
バルブ開／閉
圧力計ゼロ校正／開度校正
自己診断機能 - 外部設定入力 ： 0－10VDC（圧力）
0－9VDC(開度) - バルブサイズ ： ＪＩＳ 3 インチ（標準）
- バルブ材質 ： 塩ビ または PTFE
- 電源入力 ： ±15VDC ＠500ｍA
- 圧力計電源出力 ： ±15VDC ＠250ｍA
- 圧力計信号入力 ： 0－10VDC FS
- RS232インターフェイス ：
PIDパラメータ設定
圧力設定／開度設定
バルブ開／閉
圧力計ゼロ校正／開度校正
自己診断機能 - 外部設定入力 ：
0－10VDC（圧力）
0－9VDC(開度) - バルブサイズ：
ＪＩＳ 3 インチ（標準） - バルブ材質：
塩ビ または PTFE
■ 2分割ウイングバルブ
装置のデッドスペースを有効活用できる大口径バルブ
特長
- フラッパーの上部は排気ダクトのデッドスペースを利用
- フラッパーの下部側は完全フラット
- ゲートバルブまたはターボ分子ポンプに直接マウント
- ＡＰＮ３０コントローラで自動圧力制御または開度制御
- ＲＳ内蔵コントローラで自動圧力制御または開度制御
- メンテナンス性を重視した、シンプルなＤＤ駆動方式
