材質、寸法形状、インターフェイスなどの様々な特殊仕様に対応いたします。

■ 全閉バルブ

全閉コンダクタンスがゼロ!

特長

  • バルブ/コントローラ一体型APC
  • 弁の周囲にO-リングを取り付けることで、最小コンダクタンスはゼロになる
  • ガス量を増やすことなく、制御圧力の上限を引き上げる
  • スロー排気が、簡単にできる
  • AP30コントローラで自動圧力制御または開度制御
  • RS内蔵コントローラで自動圧力制御または開度制御
  • メンテナンス性を重視した、シンプルなDD駆動方式

■ 樹脂バルブ

耐食性が必要なライン向け

特長

  • バルブ/コントローラ一体型APC
  • バルブの接ガス部はすべて樹脂性
  • 耐腐食性、耐熱性に優れている
  • 圧力センサとの位置関係により、ノーマル/リバース動作切り変え可能
  • AP30コントローラで自動圧力制御または開度制御
  • RS内蔵コントローラで自動圧力制御または開度制御
  • メンテナンス性を重視した、シンプルなDD駆動方式

仕様

  • 電源入力        : ±15VDC @500mA
  • 圧力計電源出力     : ±15VDC @250mA
  • 圧力計信号入力     : 0-10VDC FS
  • RS232インターフェイス  :PIDパラメータ設定
                 圧力設定/開度設定
                 バルブ開/閉
                 圧力計ゼロ校正/開度校正
                 自己診断機能
  • 外部設定入力          : 0-10VDC(圧力)
                  0-9VDC(開度)
  • バルブサイズ       : JIS 3 インチ(標準)
  • バルブ材質        : 塩ビ または PTFE
  • 電源入力 : ±15VDC @500mA
  • 圧力計電源出力 : ±15VDC @250mA
  • 圧力計信号入力 : 0-10VDC FS
  • RS232インターフェイス :
        PIDパラメータ設定
        圧力設定/開度設定
        バルブ開/閉
        圧力計ゼロ校正/開度校正
        自己診断機能
  • 外部設定入力      :
        0-10VDC(圧力)
        0-9VDC(開度)
  • バルブサイズ:
        JIS 3 インチ(標準)
  • バルブ材質:
        塩ビ または PTFE

■ 2分割ウイングバルブ

装置のデッドスペースを有効活用できる大口径バルブ

特長

  • フラッパーの上部は排気ダクトのデッドスペースを利用
  • フラッパーの下部側は完全フラット
  • ゲートバルブまたはターボ分子ポンプに直接マウント
  • AP30コントローラで自動圧力制御または開度制御
  • RS内蔵コントローラで自動圧力制御または開度制御
  • メンテナンス性を重視した、シンプルなDD駆動方式
排気ダクト組み込み例