真空応用装置 イオン注入装置 真空蒸着装置 真空加熱装置 真空機能部品 基板加熱機構 三源蒸発源（K-CELL） ６kW‐EBガン EBガン電源 ペンシル型ＳＰＭ シャッター機構 ４ch自動リニアモーション機構 移動式・排気ユニット 真空チャンバー・その他真空加工品 真空チャンバー サンプル移動用密封容器
