真空チャンバー

 角型真空チャンバー

 ロードロック・チャンバー

 チタン製真空チャンバー

●チタンを使用することで、ガス放出が少なく真空の引きが速い。また、軽量・高強度
● 主な仕様
・材質 :純チタン&チタン合金製



 低温真空チャンバー

● 主な仕様
・到達真空:
  主チャンバー;5.0×10-11Torr
  副チャンバー;1.0×10-11Torr
  LLチャンバー;2.0×10-9Torr


サンプル移動用密封容器

 サンプル移動用密封容器

● 試料を大気に触れずに運搬が可能