真空蒸着装置
■ 真空蒸着装置
![](http://fuji-imvac.co.jp/wp-content/uploads/2021/06/9_l.jpg)
●2系統の蒸発源を持つ小型真空蒸着装置
● 主な仕様
・基板サイズ :2インチ
・基板加熱温度 :700℃(MAX)
・蒸発源 :抵抗加熱2系統
・真空ポンプ :TMP&RP
・到達真空 :3.0×10-8Torr
■ 小型・真空蒸着装置
![](http://fuji-imvac.co.jp/wp-content/uploads/2021/06/14_l.jpg)
●排気系に安価なDPを使用した省スペースタイプ
● 主な仕様
・基板サイズ :2インチ
・基板加熱温度 :700℃(MAX)
・ガス導入 :1系統
・蒸発源 :抵抗加熱2系統
・真空ポンプ :DP&RP
■ 真空蒸着装置 チャンバー移動式LL
![](http://fuji-imvac.co.jp/wp-content/uploads/2021/06/17_l.jpg)
● 主な仕様
・蒸発源 :抵抗加熱2系統
真空加熱装置
■ 真空加熱装置
![](http://fuji-imvac.co.jp/wp-content/uploads/2021/06/15_l.jpg)
● 主な仕様
・加熱温度 :中心で400℃、
左右で300℃
・ガス導入 :1系統
・到達真空 :1.0×10-7 Torr