AP30はRS232Cまたはシーケンサで制御する自動圧力コントロ ーラです。AP30はAVD/AVH/AVRシリーズのスロットルバルブと 真空計を組み合わせ、真空ポンプの排気スピードを自動制御す ることで、チャンバー圧力を独立してコントロールすることが できます。AP30を操作するにはコンピュータかシーケンサが必 要です。また電源は±15VDCを使用します。ローカル機能はプ ロセス中でもバルブの開閉を手動で行なうことができ、通信を 止める必要がなく便利です。制御はPIDも含めてすべてデジタ ル処理されています。またコンパクトなブラックボックス・ユ ニットは、装置のデッドスペースを利用して取り付けることが できます。

特長

  • 省スペースで取り付け自由
  • RS232Cとシーケンサのどちらでも制御可能
  • プロセス中に圧力制御と開度制御を切り替えできる
  • 制御中にローカルでバルブの開、閉の割り込みができる
  • デジタルPID
カタログ

仕様

  • 電源入力　　　　　　　　： ±15VDC ＠500ｍA
  • 電源出力　　　　　　　　： ±15VDC ＠250ｍA
  • 圧力計信号入力　　　　　： 0－10VDC FS
  • RS232Cインターフェイス ：圧力設定／開度設定
    　　　　　　　　　　　　　PIDパラメータ設定
    　　　　　　　　　　　　　バルブ開・閉
  • アナログ・インターフェイス：圧力設定(0-10V)
    　　　　　　　　　　　　　 開度設定(0-9V)
  • サイズ　　　　　　　　　　： H=67、 W=175、D=150
  • 電源入力　　　　　　　　： ±15VDC ＠500ｍA
  • 電源出力　　　　　　　　： ±15VDC ＠250ｍA
  • 圧力計信号入力　　　　　： 0－10VDC FS
  • RS232Cインターフェイス ：圧力設定／開度設定
    　　　　　　　　　　　　　PIDパラメータ設定
    　　　　　　　　　　　　　バルブ開・閉
  • アナログ・インターフェイス：圧力設定(0-10V)
    　　　　　　　　　　　　　 開度設定(0-9V)
  • サイズ　　　　　　　　　　： H=67
    　　　　　　　　　　　　　　 W=175
    　　　　　　　　　　　　　　 D=150