AP30はRS232Cまたはシーケンサで制御する自動圧力コントロ ーラです。AP30はAVD/AVH/AVRシリーズのスロットルバルブと 真空計を組み合わせ、真空ポンプの排気スピードを自動制御す ることで、チャンバー圧力を独立してコントロールすることが できます。AP30を操作するにはコンピュータかシーケンサが必 要です。また電源は±15VDCを使用します。ローカル機能はプ ロセス中でもバルブの開閉を手動で行なうことができ、通信を 止める必要がなく便利です。制御はPIDも含めてすべてデジタ ル処理されています。またコンパクトなブラックボックス・ユ ニットは、装置のデッドスペースを利用して取り付けることが できます。

特長

  • 省スペースで取り付け自由
  • RS232Cとシーケンサのどちらでも制御可能
  • プロセス中に圧力制御と開度制御を切り替えできる
  • 制御中にローカルでバルブの開、閉の割り込みができる
  • デジタルPID

仕様

  • 電源入力        : ±15VDC @500mA
  • 電源出力        : ±15VDC @250mA
  • 圧力計信号入力     : 0-10VDC FS
  • RS232Cインターフェイス :圧力設定/開度設定
                 PIDパラメータ設定
                 バルブ開・閉
  • アナログ・インターフェイス:圧力設定(0-10V)
                  開度設定(0-9V)
  • サイズ          : H=67、 W=175、D=150
  • 電源入力        : ±15VDC @500mA
  • 電源出力        : ±15VDC @250mA
  • 圧力計信号入力     : 0-10VDC FS
  • RS232Cインターフェイス :圧力設定/開度設定
                 PIDパラメータ設定
                 バルブ開・閉
  • アナログ・インターフェイス:圧力設定(0-10V)
                  開度設定(0-9V)
  • サイズ          : H=67
                   W=175
                   D=150