クリーンブラスター

「クリーンブラスター」は、サンドブラストの原理を応用し、半導体製造装置のクリーニング用装置として開発しました。
ブラストノズルの先端から高圧エアにて研磨材を噴射させて金属表面を磨くという特性を活かし、イオン入・ＣＶＤ・スパッタ・蒸着装置等の部品を短時間で安全にクリーニング処理を実行できます。

クリーンブラスター全機種はクリーン環境と作業者に対し以下のような配慮を施し人と環境への安全を確保しています。

1. 二重局所排気構造により外部発塵を極限まで減らしました。二重化された局所排気機構はブラスト室の発塵のみならず装置内のモーターや電装機器から発生する発塵発熱も外部に漏らしません。
2. クリーンブラスターは予備室を備えたロードロック機構となっています。
   予備室は密閉型のドラフトチャンバーとなっておりブラスト作業後のワークの後処理などが行えます。
   また、ブラスト室と予備室はゲートバルブ構造のシャッターにて仕切られます。
3. 密閉型フード構造によりＡｓ、Ｐなどの毒物の付着したワークに直接手を触れずに作業を行う事が出来ます。
4. 研磨材が循環式のため運転コストが抑えられています。
   また、切削ダストがタンクに回収されるので処理が簡単です。
5. 完全ドライ方式なので、水・酸・薬液等の廃液処理は必要ありません。
6. 装置の保守・維持管理が容易です。

• ＣＳ－７５０　　　小型基本モデル
• ＣＳ－８０１　　　小型汎用モデル　　（生産中止）
• ＣＳ－１０００　　大型高機能モデル　（生産中止）