真空チャンバー
■ 角型真空チャンバー
■ ロードロック・チャンバー
■ チタン製真空チャンバー
●チタンを使用することで、ガス放出が少なく真空の引きが速い。また、軽量・高強度
● 主な仕様
・材質 ：純チタン＆チタン合金製
■ 低温真空チャンバー
● 主な仕様
・到達真空：
主チャンバー；5.0×10-11Torr
副チャンバー；1.0×10-11Torr
LLチャンバー；2.0×10-9Torr
サンプル移動用密封容器
■ サンプル移動用密封容器
● 試料を大気に触れずに運搬が可能