VAT社製品

ミニUHVゲートバルブ  Series 01.0
　　　

UHVから高度なアプリケーションまでの多用途バルブ

ミニゲートバルブ  Series 01.2
　　

低真空アプリケーションの汎用/多目的/多用途バルブ

角型ゲートバルブ/インサートMONOVAT
Series 02.2 / Series 03.2

200, 300, 450mmウェーハ用半導体製造装置のロードロックおよびプロセスチャンバーの真空封止用

高真空ゲートバルブ  Series 09

UHVから高度なアプリケーションまでの多用途バルブ

UHVゲートバルブ  Series 10

研究開発および産業のUHVアプリケーションの標準バルブ

高真空ゲートバルブ  Series 11

高真空のアプリケーションの多用途バルブ、特にポンプの真空封止に最適

真空ゲートバルブ  Series 12

研究開発および産業の低真空アプリケーションの標準バルブ

高真空ゲートバルブ（O-リング回転軸シール）
Series 14.1

低真空から高真空アプリケーションへの多用途バルブ、特に生産プロセスに最適

振子式高真空バルブ  Series 16.2

コンパクトなデザイン、特に腐食性プロセスに最適

バタフライバルブ（ベローズ軸シール）
Series 20.0 / 20.2

クリーンなプロセス用のコンパクトバルブ

ダイアフラムバルブ  Series 22

粗引き / バックラインの真空封止用で、定量絞り、ガス導入および液体用バルブ

高真空アングルバルブ（ベローズ軸シール）
Series 26

高真空アプリケーションの排気およびベント用
(大流量の場合は Series 24 を推奨）

UHV アングルバルブ  Series 28

極少アウトガス量が要求されるUHVアプリケーションの排気およびベント用で、腐食性ガスにも対応

オールメタルゲートバルブ  Series 48

（極） UHV仕様で高温または過酷な条件に対応

低価格オールメタルアングルバルブ
Series 54

（極） UHV アプリケーションの真空プロセス用

オールメタルアングルバルブ  Series 57

（極） UHV アプリケーション / 厳しい条件に対応

オールメタルバリアブルリークバルブ
Series 59

プロセス圧力を微小流量で制御するガス導入バルブ

バタフライバルブ コントロールシステム
Series 61.2

SEMI、FPD、PV、SOLAR、産業分野の圧力制御用バルブで、特にCVDのような高速で高度なプロセスに最適

振子式バルブ コントロールシステム
Series 65.0

SEMI、FPDプロセスの圧力制御および真空封止用バルブで、特に苛酷なエッチング、クリーニングプロセスに最適

緊急遮断シャッターシステム  Series 77

加速器やストレージリングの真空系を突然の大気侵入から保護