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ミニUHVゲートバルブ Series 01.0
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UHVから高度なアプリケーションまでの多用途バルブ
ミニゲートバルブ Series 01.2
![](http://fuji-imvac.co.jp/wp-content/uploads/2021/05/2.jpeg)
低真空アプリケーションの汎用/多目的/多用途バルブ
角型ゲートバルブ/インサートMONOVAT
Series 02.2 / Series 03.2
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200, 300, 450mmウェーハ用半導体製造装置のロードロックおよびプロセスチャンバーの真空封止用
高真空ゲートバルブ Series 09
![](http://fuji-imvac.co.jp/wp-content/uploads/2021/05/4.jpeg)
UHVから高度なアプリケーションまでの多用途バルブ
UHVゲートバルブ Series 10
![](http://fuji-imvac.co.jp/wp-content/uploads/2021/05/5.jpeg)
研究開発および産業のUHVアプリケーションの標準バルブ
高真空ゲートバルブ Series 11
![](http://fuji-imvac.co.jp/wp-content/uploads/2021/05/6.jpeg)
高真空のアプリケーションの多用途バルブ、特にポンプの真空封止に最適
真空ゲートバルブ Series 12
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研究開発および産業の低真空アプリケーションの標準バルブ
高真空ゲートバルブ(O-リング回転軸シール)
Series 14.1
![](http://fuji-imvac.co.jp/wp-content/uploads/2021/05/8.jpeg)
低真空から高真空アプリケーションへの多用途バルブ、特に生産プロセスに最適
振子式高真空バルブ Series 16.2
![](http://fuji-imvac.co.jp/wp-content/uploads/2021/05/9.jpeg)
コンパクトなデザイン、特に腐食性プロセスに最適
バタフライバルブ(ベローズ軸シール)
Series 20.0 / 20.2
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クリーンなプロセス用のコンパクトバルブ
ダイアフラムバルブ Series 22
![](http://fuji-imvac.co.jp/wp-content/uploads/2021/05/11.jpeg)
粗引き / バックラインの真空封止用で、定量絞り、ガス導入および液体用バルブ
高真空アングルバルブ(ベローズ軸シール)
Series 26
![](http://fuji-imvac.co.jp/wp-content/uploads/2021/05/12.jpeg)
高真空アプリケーションの排気およびベント用
(大流量の場合は Series 24 を推奨)
UHV アングルバルブ Series 28
![](http://fuji-imvac.co.jp/wp-content/uploads/2021/05/13.jpeg)
極少アウトガス量が要求されるUHVアプリケーションの排気およびベント用で、腐食性ガスにも対応
オールメタルゲートバルブ Series 48
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(極) UHV仕様で高温または過酷な条件に対応
低価格オールメタルアングルバルブ
Series 54
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(極) UHV アプリケーションの真空プロセス用
オールメタルアングルバルブ Series 57
![](http://fuji-imvac.co.jp/wp-content/uploads/2021/05/16.jpeg)
(極) UHV アプリケーション / 厳しい条件に対応
オールメタルバリアブルリークバルブ
Series 59
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プロセス圧力を微小流量で制御するガス導入バルブ
バタフライバルブ コントロールシステム
Series 61.2
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SEMI、FPD、PV、SOLAR、産業分野の圧力制御用バルブで、特にCVDのような高速で高度なプロセスに最適
振子式バルブ コントロールシステム
Series 65.0
![](http://fuji-imvac.co.jp/wp-content/uploads/2021/05/19.jpeg)
SEMI、FPDプロセスの圧力制御および真空封止用バルブで、特に苛酷なエッチング、クリーニングプロセスに最適
緊急遮断シャッターシステム Series 77
![](http://fuji-imvac.co.jp/wp-content/uploads/2021/05/20.jpeg)
加速器やストレージリングの真空系を突然の大気侵入から保護