独立行政法人 科学技術振興機構（JST)の平成16年度育成研究課題として北陸先端科学技術大学院大学 富取研究室と共同提案の「ペンシル型SPMの開発」が採択されました。
- 超高分解能走査型電子顕微鏡(SEM)の試料ホルダー内に収まるペンシル型走査型プローブ顕微鏡(SPM)を開発し、SEMと複合化する。
- ナノスケールの分解能をもつ２つの顕微鏡の能力を活用して、個々の原子・分子を観察しながら、操作・組立ができる装置を創製する。
- 数mmの範囲で３次元的に粗動接近ができ、原子・分子スケールの空間分解能を有するペンシル型SPMを開発し、最高分解能約0.4nmの性能を有する超高分解能SEMに組み込む。
- 超高分解能SEMの収束電子ビームを利用し、電子ビーム励起堆積法などにより「その場」でナノスケールで鋭利な針を成長させ、その様子をSEM観察し、SPM探針として利用する。
- 「原子・分子の観察・操作・組立を可能とする優れたSPM内蔵試料ホルダーを備えた高性能複合 化顕微鏡」を開発し、ボトムアップ型ナノテクノロジーツールとして広く事業化する。
・高性能SPMの開発実績とペンシル型の開発
・超高分解能SEMとペンシル型SPMの複合
・高機能SPM探針の評価・調製技術の応用
・SEM、TEM、FIBやマルチプローブ法との複合
・試料と探針の多角的同時観察
・観察対象の連続的拡大観察
・探針の「その場」観察・成長
・ナノ・バイオ素子の電気力学特性の評価
・分子のSPMナノ力学伸展実験のSEM観察
・高性能SPMの開発実績とペンシル型の開発
・超高分解能SEMとペンシル型SPMの複合
・高機能SPM探針の評価・調製技術の応用
・SEM、TEM、FIBやマルチプローブ法との複合
・試料と探針の多角的同時観察
・観察対象の連続的拡大観察
・探針の「その場」観察・成長
・ナノ・バイオ素子の電気力学特性の評価
・分子のSPMナノ力学伸展実験のSEM観察