自動圧力制御機器（APC）

排気速度制御による圧力制御について
プロセスチャンバーの圧力を自動制御するシステムです。徹底した品質管理とコスト管理から実現した汎用型ＡＰＣ。
ますます複雑化するプロセス向けの開発型ＡＰＣなど、お客様のニーズに合わせたＯＥＭ供給にも対応しています。

− RS-APCの生産中止と後継機について −
長年ご利用頂いておりましたRS-APCは、電子部品等の調達ができなくなった為、2022年6月をもって生産中止とさせて頂きます。
なお、後継機としてあらたにRSN-APCを開発いたしました。最新デバイスに基づいた新規設計となります。
旧RS-APCとは完全互換性となります。